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光学显微镜系统
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Semicon Equipment Maintenance Service

探针台系统配件
展芯科技可针对用户的实际需求,提供标准(或定制)的探针台系统配件。

探针

连接电缆

转接头

屏蔽箱

防震台及系统放置平台

载物台

显微镜

物镜

光源

CCD

真空泵

空压机

探针


名称

型号

应用&描述

DC测试探针

PL-T20

DC测试,针尖直径20μm

PL-T15

DC测试,针尖直径15μm

PL-T10

DC测试,针尖直径10μm

PL-T5

DC测试,针尖直径5μm

PL-T2

DC测试,针尖直径3μm

PL-T1

DC测试,针尖直径1μm

PL-T02

DC测试,针尖直径0.2μm

微波测试探针

*

RF、mmW测试,DC~1100GHz

高阻抗有源探针

*

有源测试探针臂(12C等)配套的探针

*请联系销售工程,以获得完整的产品资料(wilson@perfictlab.com)。

 

连接电缆、转接头


连接电缆

名称

型号

应用&描述

三轴(公)接头连接电缆

CA- TRXM-TRXM-2

三轴电缆、长度2m、两端为三轴(公)接头。

同轴(公)接头连接电缆

CA- BNCM-BNCM-2

同轴电缆、长度2m、两端为BNC(公)公接头。

三轴转同轴(公)接头连接电缆

CA- TRXM- BNCM -2

三轴电缆、长度2m、一端为三轴(公)接头,另一端为BNC(公)公接头。

同轴(公)转香蕉接头连接电缆

CA- BNCM-Ba-2

同轴电缆、长度2m、一端为BNC(公)接头,另一端为4mm香蕉接头。

三轴(公)转鳄鱼夹接头连接电缆

CA-TRX-AC-2

三轴电缆、长度2m、一端为三轴(公)接头,另一端为鳄鱼夹接头(Shield、Guard、Centre Conductor均连接至鳄鱼夹接头)。

特别提示:
连接电缆可根据客户要求定制(电缆、接头、长度等)。

 

转接头

名称

型号

应用&描述

三轴(母)转三轴(母)转接头(穿墙型)

ADP-TRXF-TRXF

接头两端用于连接三轴(公)接头,常用于屏蔽箱上,用于屏蔽箱内外部电缆的连接。

同轴(母)转同轴(母)转接头(穿墙型)

ADP-BNCF-BNCF

接头两端用于连接BNC(公)接头,常用于屏蔽箱上,用于屏蔽箱内外部电缆的连接。

三轴(母)转同轴(母)转接头

ADP-TRXF-BNCF-E1

接头两端分别用于连接三轴(公)和BNC(公)接头。

ADP-TRXF-BNCF-E2

三轴(母)转同轴(公)转接头

ADP-TRXF-BNCM-E1

接头两端分别用于连接三轴(公)和BNC(母)接头。
将BNC(母)接头转换成三轴(母)接头

ADP-TRXF-BNCM-E2

三轴(公)转同轴(母)转接头

ADP-TRXM-BNCF-E1

接头两端分别用于连接三轴(母)和BNC(公)接头。
将三轴接头转换成BNC(母接头)。

ADP-TRXM-BNCF-E2

特别提示:E1三轴接头Guard层与同轴接头Shield同相连。      
     E2三轴接头Shield层与同轴接头Shield同相连。

转接头安装板

--

用于安装转接头,对系统连接电缆进行合理的管理。客制化配件,可根据用户要求设计。

*请联系销售工程,以获得更多的产品资料(wilson@perfictlab.com)。

 

光、电磁屏蔽箱


型号

应用&描述

MiniShield

Mini系列探针台专用的屏蔽箱、小体积、低成本的低漏电、光屏蔽解决方案配件。

DB-UPD

探针台屏蔽箱,兼容LAB、S、SP系列探针台。上掀式开门方式。屏蔽箱打开后,箱内和外的视野无任何干涉,无观察死角。

 

防震台及系统放置平台


型号

应用&描述

PL-VIT3000

常规气囊式防震台,自然频率:1.2~1.5Hz(垂直),1.5~1.7Hz(水平),负载400kg,水平复位精度:±1.0mm。

PL-VIT8000

高性能气囊式防震台,自然频率:1.0Hz(垂直),1.5Hz(水平),负载3600kg,水平复位精度:±0.25mm。

PL-VIT500

简易的桌上型防震台,自然频率:5Hz(垂直),7.5Hz(水平),负载40~120kg。

PL-TableFrame

探针台系统专用的放置平台,兼容PRCBE所有型号的屏蔽箱(无缝升级)。

 

载物台


名称

型号

应用&描述

微波测试载物台

RFC-XX

RF、mmW测试、Load Pull测试载物台,带校准校片载物台。

加热载物台(常规)

HC-200/300

常温~200/300℃,AC加热,无漏电屏蔽层。温度范围可根据客户要求订制。

加热载物台(低漏电)

DCHC-200/300

常温~200/300℃,DC加热,带漏电屏蔽层。用于微弱电流测试。温度范围可根据客户要求订制。

常规晶圆载物台

CK-XX

4~12英寸,可根据客户要求定制真空吸附方式(环形吸附、微孔吸附)。

特别提示:
XX:代表载物台的尺寸,分别为4、6、8、12。
-R:在型号的最后加个该字母表示用户需要在载物台上做真空吸附环吸附样品(常规配置,吸力大)。
-H:在型号的最后加个该字母表示用户需要在载物台上真空微孔吸附样品(吸力小,适用于厚度在50微米或以下的晶圆)。
200/300:代表加热载物台的最高温度为200℃或300℃,二选其一。
-WC:在型号的最后加个该字母表示加热载物台配套了水冷降温隔热层(提升降温效率和温度稳定性)。

 

显微镜及相关配件


显微镜

名称

型号

应用&描述

体视显微镜

PL-MS100X

探针台专用长工作距离体视显微镜。高清晰度、高景深的立体图像。光学放大倍率:100X(变倍比:1:6.7)。

体视显微镜

PL-MS100X-PL

平行光体视显微镜

金相显微镜(常规)

PL-MS2000X

探针台专用高分辨率长工作距离金相显微镜,最小光学分辨率可达0.5μm。

金相显微镜(激光器适用)

PL-MS2000X-L

激光器专用的长工作距离金相显微镜,激光器与CCD为同一接口。

金相显微镜(激光器适用)

PL-MS2000X-L-TRI

激光器专用的长工作距离金相显微镜,带CCD专用的光路(与激光器接口分开),CCD成像质量更好。

单筒显微镜

PL-MSZ-APO

0.7X~4.5X变倍比(1:6.4),可安装MPlan APO 95mm物镜,高光学分辨率,最小光学分辨率可达0.8μm(须配套50X物镜)。

单筒显微镜

PL-MS0745

光学放大倍数:0.7X~4.5X,超长工作距离(92.3mm)最小光学分辨率可达4.9μm。带内部调焦机构。高性价比的显微镜方案。

单筒显微镜(大变倍比)

PL-MS12X

物镜连续变倍范围:0.58X~7.0X,变倍比12: 1,工作距离82mm(1X物镜)。同时兼顾大范围及高分辨率观察。

 

物镜

名称

型号

应用&描述

2X物镜

PL-OB-2X

2X物镜(工作距离:34.6mm),MPlan APO

5X物镜

PL-OB-5X

5X物镜(工作距离:45mm),MPlan APO

10X物镜

PL-OB-10X

10X物镜(工作距离:34mm),MPlan APO

20X物镜

PL-OB-20X

20X物镜(工作距离:31mm),MPlan APO

50X物镜

PL-OB-50X

50X物镜(工作距离:20.1mm),MPlan APO

100X物镜

PL-OB-100X

100X物镜(工作距离:12.5mm),MPlan APO

2X NIR物镜

PL-OB-2X-NIR

2X物镜(工作距离:34.6mm),NIR专用

10X NIR物镜

PL-OB-10X-NIR

10X物镜(工作距离:34mm),NIR专用

20X NIR物镜

PL-OB-20X-NIR

20X物镜(工作距离:31mm),NIR专用

50X NUV物镜

PL-OB-50X-NUV

50X物镜(工作距离:20.1mm),NUV专用

100X NUV物镜

PL-OB-100X-NUV

100X物镜(工作距离:12.5mm),NUV专用

IR和UV物镜

--

详询销售工程。

若您找不到适用您实际应用的型号,请联系销售工程:wilson@perfictlab.com

 

光源

名称

型号

应用&描述

LED环形光源

PL-LS-RL

体视显微镜的环形照明光源,搭配可变恒流电源,可提供稳定的照明。

同轴点光源

PL-LS-S1200

同轴光照明显微镜专用的高功率LED点光源,搭配可变恒流电源,可提供稳定的照明。

LED冷光源(带光纤)

PL-LS-S2100

光纤冷光源,大功率LED光源,光源通过光纤传导到显微镜同轴光接口,可最大限度地减少屏蔽箱内部的电流干扰。

 

CCD及配件

名称

型号

应用&描述

CCD

SC080

连接至电脑,用于实时观察、拍照、录像。

C-Mount

--

可为用户定制1X CCD转接配件。

真空泵、空压机


名称

型号

应用&描述

真空泵

PL-VP-0125

静音无油真空泵,为载物台、探针座真空吸附底座提供真空吸附力。

空压机

PL-3-4

超静音(35dB)油润滑空压机,提供压缩空气,用于探针台气动机构或作为防震台的空气动力。

定制类配件


名称

型号

应用&描述

探针卡

PCH-XX

夹持探针卡,多针测试应用。

特别提示:XX表示探针卡的尺寸,可兼容4、10英寸的探针卡。
*我司根据用户要求定制相关的机构产品,详询销售工程: wilson@perfictlab.com

 

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